Responsable scientifique : Jean-Christophe Lacroix; Responsable opérationnelle : Sarra Gam Derouich
Le service a pour vocation de fonctionner en plateforme multi-techniques au profit des très nombreux demandeurs. Il comprend deux microscopes électroniques à balayage :
- Un MEB-FEG Zeiss (Zeiss SUPRA 40) équipé d’un dispositif de lithographie NPGS permettant la fabrication de nanostructures.
- Un MEB-FEG (Zeiss Gemini SEM 360) équipé d’un spectromètre à dispersion d’énergie (EDX) de nouvelle génération (OXFORD : Ultime Max 170 mm2). Cet appareil fait partie aussi de la plate-forme AFM-Beam REX, obtenue grâce à un financement de la région d’Ile de France et de l’IDEX Université Paris Cité. La plateforme AFM-Beam REX est dotée également de deux AFM Raman situés au laboratoire ITODYS et au Laboratoire MPQ.
Caractéristiques de l’appareillage : Zeiss SUPRA 40
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SUPRA 40 ZEISS : canon électronique FEG
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Diaphragmes de 7,5 à 120µm
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Tension d’accélération variable en continu de 100V à 30kV
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Détecteur d’électrons secondaires Everhart-Thornley situé dans la chambre
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Détecteur d’électrons secondaires In-Lens haute efficacité, position axiale
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Détecteur d’électron rétrodiffusé (BSE)
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Résolution:1 nm/15 kV - 1.9 nm/ 1 kV
Plaquette 2019 - Fiche d'échantillon (version anglaise) - Règlement intérieur
Caractéristiques de l’appareillage : Zeiss Gemini SEM 360
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ZEISS GeminiSEM 300 : canon électronique FEG
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Diaphragmes de 7,5 à 120µm
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Tension d’accélération variable en continu de 50V à 30kV
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Détecteur d’électrons secondaires Everhart-Thornley situé dans la chambre
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Détecteur d’électrons secondaires In-Lens haute efficacité, position axiale
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Détecteur d’électron rétrodiffusé (BSE)
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Détecteur en transmission (STEM)
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Résolution:0.7 nm/15 kV - 1.2 nm/ 1 kV
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EDX : OXFORD : Ultime Max : Grande surface active : 170mm2. Résolution inférieure à 127 eV (Mn Kα). Piloté par le logiciel AZtec, ce dernier permet de réaliser des analyses quantitatives, des profils et des cartographies
Conditions d’utilisations : Les chambres des deux MEB peuvent accueillir des échantillons de 250 mm de diamètre et 50 mm de haut. Ces échantillons peuvent être des surfaces conductrices, des surfaces isolantes (couches minces, échantillons massifs, poudres ou colloïdes…) et aussi des échantillons biologiques. La plateforme est équipée d’un métaliseur (Cressington 208HR), d’un évaporateur (Gressington Carbon Coater 108carbon) pour métalliser les surfaces non conductrices et d’un appareil de séchage des échantillons biologiques par contournement du point critique (Leica EM CPD300).
Caractérisation de matériaux : préparation et métallisation des échantillons, acquittions d’images, analyses des échantillons et la rédaction des rapports d’analyses.
Formations : La plateforme est ouverte et propose des formations dans les domaines de l’imagerie et de l’analyse chimique. Ces formations sont ouvertes à tous publics (industriel ou académiques).
Expertise : Développement de nouveau protocole d’analyse et interprétation avancée des résultats.