Responsable scientifique : Jean-Christophe Lacroix; Responsable technique :  Sarra Gam Derouich

Le service a pour vocation de fonctionner en plate-forme multi-techniques au profit de très nombreux demandeurs. Il comprend un microscope électronique à balayage :

  • un MEB-FEG Zeiss (Zeiss SUPRA 40) équipé d’un dispositif de lithographie NPGS permettant la fabrication de nanostructures.

Ce service s’articule aussi avec la plate-forme de microscopie électronique en transmission située au bâtiment Condorcet (Laboratoire MPQ) dotée d’un TEM-200kV équipé d’un spectromètre EDX et d’un TEM à ultra-haute résolution équipé d’un spectromètre EELS.

Caractéristiques de l’appareillage : Zeiss SUPRA 40

  • Microscope électronique à Balayage SUPRA 40 ZEISS avec canon à émission de champ très haute résolution à pointe chaude (Schottky) qui permet des courants d'émission (4pA-20nA) très stables
  • Diaphragmes de 7,5 à 120µm
  • Tension d’accélération variable en continu de 100V à 30kV
  • Détecteur d’électrons secondaires Everhart-Thornley situé dans la chambre
  • Détecteur d’électrons secondaires In-Lens haute efficacité, position axiale
  • Détecteur d’électron rétrodiffusé (BSE)
  • Résolution:1 nm/15 kV - 1.9 nm/ 1 kV