Responsable scientifique : Jean-Christophe Lacroix; Responsable technique : Sarra Gam Derouich
Le service a pour vocation de fonctionner en plate-forme multi-techniques au profit de très nombreux demandeurs. Il comprend un microscope électronique à balayage :
- un MEB-FEG Zeiss (Zeiss SUPRA 40) équipé d’un dispositif de lithographie NPGS permettant la fabrication de nanostructures.
Ce service s’articule aussi avec la plate-forme de microscopie électronique en transmission située au bâtiment Condorcet (Laboratoire MPQ) dotée d’un TEM-200kV équipé d’un spectromètre EDX et d’un TEM à ultra-haute résolution équipé d’un spectromètre EELS.
Caractéristiques de l’appareillage : Zeiss SUPRA 40
- Microscope électronique à Balayage SUPRA 40 ZEISS avec canon à émission de champ très haute résolution à pointe chaude (Schottky) qui permet des courants d'émission (4pA-20nA) très stables
- Diaphragmes de 7,5 à 120µm
- Tension d’accélération variable en continu de 100V à 30kV
- Détecteur d’électrons secondaires Everhart-Thornley situé dans la chambre
- Détecteur d’électrons secondaires In-Lens haute efficacité, position axiale
- Détecteur d’électron rétrodiffusé (BSE)
- Résolution:1 nm/15 kV - 1.9 nm/ 1 kV